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重庆净化车间的铝材在表面上的温湿会不会有什么影响
来源：www.cqknjh.com 发布时间：2019年01月14日
随着氛围干净度请求的进步，工艺对温湿度的请求也越来越严，那么干净室内温室渡过高或者过低，有什么影响呢？
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加工精度越来越精细，对温度坚定范围的请求就越来越小。例如在大范围集成电路消费的光刻曝光工艺中，作为掩膜板质料的玻璃与硅片的热收缩系数的差请求越来越小。
上面就以这个例子来说：
直径100 um的硅片，温度上升1度，就惹起了0.24um线性收缩，以是必需有±0.1度的恒温，同时请求湿度值普通较低，由于人出汗以后，对产物将有净化，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超越25度，湿渡过高发生的题目更多。
绝对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发作在精细安装或电路中，就会惹起种种变乱。绝对湿度在50%时易生锈。
小龙
此外，湿度太高时将经过氛围中的水分子把硅片外表粘着的尘土化学吸附在外表难以肃清。绝对湿度越高，粘附的越难去掉，但当绝对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于外表，同时大批半导体器件容易发作击穿。
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加工精度越来越精细，对温度坚定范围的请求就越来越小。例如在大范围集成电路消费的光刻曝光工艺中，作为掩膜板质料的玻璃与硅片的热收缩系数的差请求越来越小。
上面就以这个例子来说：
直径100 um的硅片，温度上升1度，就惹起了0.24um线性收缩，以是必需有±0.1度的恒温，同时请求湿度值普通较低，由于人出汗以后，对产物将有净化，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超越25度，湿渡过高发生的题目更多。
绝对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发作在精细安装或电路中，就会惹起种种变乱。绝对湿度在50%时易生锈。
小龙
此外，湿度太高时将经过氛围中的水分子把硅片外表粘着的尘土化学吸附在外表难以肃清。绝对湿度越高，粘附的越难去掉，但当绝对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于外表，同时大批半导体器件容易发作击穿。
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