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净化车间的高精三恒系统控制措施

来源：www.cqknjh.com 发布时间：2019年07月29日

我的介绍。

高精度恒温恒湿空调技术相对成熟，但对高水平的无尘车间来说是一个缺乏实践和经验的课题。由于需要保持较高的洁净度，通风比常规空调房间大得多，使得洁净室的高精度恒温恒湿控制具有独特之处。

为了满足高水平、高精度的技术指标，保持良好的系统调整质量，还需要考虑降低初始投资和日常运营费用等经济因素，使设计更加困难。本文以实际工程为例，从设计、安装、调试的全过程，介绍了综合解决上述问题所采取的相应措施和解决方案，以及最终的实际效果。

2. 高精度恒温恒湿无尘车间的技术要求及设计方案

电子部某研究所恒温恒湿洁净室主要技术指标(图1)如下:

清洁水平:美国联邦标准FS-209EM3.5(即习惯水平为100)

洁净室有效空间:2.5m (L)×2.0m (W)×2.5m (H)

室内温度:21±0.1℃

室内湿度:Υ55±5%

套间参数:洁净度为美国联邦标准FS-209E M6.5级(即定制的10万英寸级)，温度为25±2℃

由于建筑条件的限制，考虑洁净室的气流组织方案只能采用水平平行流动方式。由于气流方向尺寸较小，截面风速设计速度为0.28m/s，略低于常规值和换风量。已高达400AC/h空气供给墙上覆盖着一个高效空气过滤器,和对面墙上是一个风格格栅(如图1)。满足所需的空气供给和通风时间恒定的温度和湿度精度远低于所需的通风净化水平。因此，不可避免地要采用二次回风方案。

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